高温压痕仪是一种用于物理学领域的物理性能测试仪器，它主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，可以测定材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、存储模量及损耗模量等特性。
高温压痕仪主要用于测量纳米尺度的硬度与弹性模量，可以用于研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性。可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜，感光薄膜，彩绘釉漆，光学薄膜，微电子镀膜，保护性薄膜，装饰性薄膜等等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物和有机材料等。
高温压痕仪的特点：
1、采用压电致动器的载荷装置保证测量的精确度；
2、压电致动器作为压痕测试的精密驱动加载，可大行程压痕驱动；
3、压痕测试模块具有良好的重复性和测试精度；
4、载荷加载范围可实现1N～200N载荷的加载；
5、温度加载范围可实现0℃～1200℃的变温加载；
6、温度控制精度可达到±1℃；
7、使用高温炉给压头和试件同时加热，保证二者温度尽可能一致，减小温度漂移对位移测量的影响；
8、配备控制主机，专用检测控制系统与配套分析处理软件；
9、软件包括测试过程中实时测量载荷和位移值、生成载荷位移曲线等；
10、可测量压入载荷-压入深度曲线、残余压深、最大压深、材料硬度、弹性模量、断裂韧性、接触刚度等。
