EDX-7000/8000能量色散X射线分析
无论是测定能量，还是波长，都可以实现对相应元素的分析，其效果是一样的。当能量高于原子内层电子结合能的高能X射线与原子发生碰撞时，驱逐一个内层电子而出现一个空穴，使整个原子体系处于不稳定的激发态，激发态原子寿命约为10－12－10－14s，然后自发地由能量高的状态跃迁到能量低的状态。
这个过程称为驰豫过程。驰豫过程既可以是非辐射跃迁，也可以是辐射跃迁。当较外层的电子跃迁到空穴时，所释放的能量随即在原子内部被吸收而逐出较外层的另一个次级光电子，此称为俄歇效应，亦称次级光电效应或无辐射效应，所逐出的次级光电子称为俄歇电子。它的能量是特征的，与入射辐射的能量无关。
根据分光方式的不同，x射线荧光分析可分为能量色散和波长色散两类，也就是通常所说的能谱仪和波谱仪。通过测定荧光x射线的能量实现对被测样品分析的方式称之为能量色散x射线荧光分析，相应的仪器称之为能谱仪，通过测定荧光x射线的波长实现对被测样品分析的方式称之为波长色散x射线荧光分析，相应的仪器称之为X射线荧光光谱仪。
