原位电化学芯片是一种集成了工作电极、参比电极和对电极（或辅助电极）的微纳结构芯片，能够在高真空或特定液体环境中，对电化学反应进行原位、实时、高分辨率的观察和记录。它克服了传统电化学测试方法中无法直接观察反应界面的局限，为深入理解电化学反应机理提供了有力工具。
1、基底材料：一般采用高纯度的硅片或其他适合微纳加工的基底材料。
2、电极系统：包括工作电极、参比电极和对电极（或辅助电极）。电极材料可根据实验需求进行定制，如金、铂、碳等。
3、电解质层：位于电极之间的薄层电解质，用于传导离子并促进电化学反应的发生。
4、观测窗口：通常采用超薄氮化硅（SiNx）薄膜作为观测窗口，其厚度可低至几纳米至几十纳米，以确保电子束能够穿透并清晰成像。
5、封装结构：用于将电极、电解质和观测窗口封装在一起，形成密封的反应室，以防止外界干扰和液体蒸发。
