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洁净室的静电危害

2023年08月15日 11:19:36      来源:深圳市科尼德环境科技有限公司 >> 进入该公司展台      阅读量:18

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洁净室因静电会减少产品优率,电磁干扰会中断自动设备运行,静电吸附会增加表面微粒收集的难度,因此对静电的产生进行控制也是必要的。因为静电电荷事实上会把污染物吸附在产品或工具表面,静电吸附正变为洁净室关注的焦点。例如,将4英寸晶片充电至1KV时,对直径为1微米的微粒的吸附力将达到830000英磅/平方英寸。因此,与重力、空气动力和粘附力相比,带电物体与微粒间的静电吸附将更强。

在电子工业洁净室中的静电危害主要表现在:
1、吸附灰尘。由于静电吸附作用,洁净室内空气微粒吸附在电子元器件表面和墙壁表面,影响产品质量和洁净度。静电也成为洁净室新的发尘源。
2、诱发火灾与爆炸。电子工业洁净室中会大量使用易燃易爆气体、液体和有机溶剂,静电会成为这些气(液)体和溶剂的引火源,引起火灾或爆炸。
3、电晕放电,或火花放电,发出噪声,干扰电子设备和电子元器件。
4、产生静电电场,使电子元器件短路、疲劳或破损

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