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2023年08月15日 11:19:36 来源:深圳市科尼德环境科技有限公司 >> 进入该公司展台 阅读量:18
洁净室因静电会减少产品优率,电磁干扰会中断自动设备运行,静电吸附会增加表面微粒收集的难度,因此对静电的产生进行控制也是必要的。因为静电电荷事实上会把污染物吸附在产品或工具表面,静电吸附正变为洁净室关注的焦点。例如,将4英寸晶片充电至1KV时,对直径为1微米的微粒的吸附力将达到830000英磅/平方英寸。因此,与重力、空气动力和粘附力相比,带电物体与微粒间的静电吸附将更强。
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