1,精密高速电主轴的核心支撑部件是高速精密轴承。因为电主轴的较高转速取决于轴承的功能、大小、布置和润滑方法，所以这种轴承必须具 有高速性能好、动负荷承载能力高、润滑性能好、发热量小等优点。近年来，相继开发了动静承、陶瓷轴承、磁浮轴承。
2,转轴是精密高速电主轴的主要回转体。他的制造精度直接影响电主轴的精度。成品转轴的形位公差尺寸精度要求很高，转轴高速运转时，由偏心质量引起震动，严重影响其动态性能，必须对转轴进行严格动平衡测试。部分安装在转轴上的零件也应随转轴一起进行动平衡测试。
3,润滑系统采用良好的润滑系统对精密高速电主轴性能有着重要的影响。典型的润滑方法是采用油雾润滑或气油混合物润滑。
前者主是把润滑油雾化在对轴承进行润滑，润滑油不可再回收，对空污染较严重。后者是直接把润滑油利用高压空气吹进轴承，润滑作用的同时还起到散热的作用。
