CVD，MOCVD专用氢气发生器主要由电解系统、压力控制系统、净化系统和显示系统组成，它可以连续可靠的产生纯度很高的氢气，纯度>99.9999%，从而使昂贵且危险的高压氢气钢瓶告别实验室，整个过程只需去离子水和供电，即可产生氢气，一次加水即可持续工作15天，成本低。
氢气发生器的安全、简便性能使其替代了危险的高压氢气钢瓶。氢气根据需要适时适量产生，保持氢气储存体积和安全性。 通过电解水产生氢气，产生的氧气则放空进入大气。具有电解面积大、池温低、性能好、产气量大、纯度高的优点。
CVD，MOCVD专用氢气发生器的使用方法：
1、开机时，先用原料氢置换系统，从阀3放空，待系统内的高纯氮置换干净后，根据用户的原料氢内的含氢量和所需高纯氢量，参照表一数据，来选定操作温度、操作压力和驰放气量，然后再通电加热钯管，从阀2流出高纯氢。
2、调温方法，可根据随机所带的说明书进行温度设定。从钯扩散制得的高纯氢到实际获得的高纯氢，尚需要置换阀2前管线的一段时间，通常约需2~3小时。由于本装置在出厂前，都要经过产品质量检验，因此阀1和阀3管线内，充有高纯氮，阀2到管线前那段管线充有高纯氮。当设备停止使用时，应先停电，待装置冷却后各阀门都关闭再停气，以便在下次使用时减少置换系统的时间。
3、一般认为在钯管厚度一定的情况下，进出口压力差越大，温度越高，则氢的渗透量越大，但平均压力以8~3公斤/平方厘米，操作温度为300~400℃为宜。电压是否在2.3V左右。
