在一些特殊环境中所使用的精密小零件对其平面度误差的要求十分严格。针对这种特殊小零件的平面度误差测量，海科思提出采用高精度涡流位移传感器，自动连续多点对小零件的平面进行测量，利用遗传算法进行数据处理，从而得到小零件的平面度误差值。

  下图为小零件平面度误差测量仪，零件放置于工作台上，使它可以沿X轴向导轨和Y轴向导轨进行移动，这样就可以实现连续测量。为防止零件的表面在测量过程中被划伤，海科思有激光平面度测量仪，采用激光非接触测头代替探针来确保无划伤精确测量，利用遗传算法通过微机进行处理，从而得到小零件的平面度误差值。

   平面度误差是指包容一个平面实际轮廓的两个平行平面的小距离。海科思这种基于遗传基因算法的小零件表面平面度测量方法，简化了测量过程，实现了测量的自动化，遗传算法的使用，使得数据处理过程更为简单，计算得到的平面度误差值更为精确。这种测量方法可以应用到多种工件平面度误差的测量，根据用户的实际测量需求，还可实现批量在线检测，满足了现代生产测量的需求。