同水份含量的气体在不同温度下的镜面上会结露。本安型露点仪采用光电检测技术，检测出露层并测量结露时的温度，直接显示露点。镜面制冷的方法有：半导体制冷、液氮制冷和高压空气制冷。镜面式露点仪采用的是直接测量方法，在保证检露准确、镜面制冷高效率和精密测量结露温度前提下，该种露点仪可作为标准露点仪使用。目前国际上精度达到±0.1℃（露点温度），一般精度可达到±0.5℃以内。
本安型露点仪标准测量步骤如下：
1. 将开关拨至电池检查档，检查电池状态。
2. 打开测量点的采样阀，检查样气中无灰尘和冷凝物，如果有灰尘或冷凝物，请等待排净或放弃测量。仪器仅需要很小的样气压力。
3. 用仪器带的PTFE管连接采样点和仪器。
4. 调节采样阀或减压阀使样气流量稳定，（5—10 L/min 是理想的，但是不用严格要求，不要超过20 L/min）。
5. 用样气先吹扫管路2或3分钟（若要测量低于-65℃的干燥气体，则需要更长时间）。然后用手指堵住测量头的气体出口，样气压力会顶起测量头，当测量头抬起，松开手指（若样气压力不够，则在出口接一段1---2米的管，然后用手缓慢拔起测量头）。
6.仪器指针会向湿区移动，稳定，就可读数。如果指针向湿区移动后，又向干区移动，则表明在测量头抬起前采样管路没有吹扫或样气本身水分在变化（变干）。
7.测量完毕后压下测量头以备下次测量。
