真空泵选购指南
2022年09月30日 08:39:06
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真空泵选购指南
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真空泵作为实验室常用仪器，同时在很多工作中也很常见，针对不同要求和真空泵的特性，整理相关的真空泵选购方法和相关注意事项：
******、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求110 -5 mmHg真空度，选用的真空泵的真空度至少要510 -6 mmHg通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。
第二、每种泵都有一定的工作压强范围，因此要正确地选择真空泵的工作点，如：扩散泵为10 -3 ~10 -7 mmHg这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为510 -4 ~510 -6 mmHg因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它10 -8 mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10 -2 mmHg下工作，但其工作压强应小于110 -5 mmHg为好。
第三、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
第四、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵（隔膜真空泵），如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。
第五、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两 者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
第六、真空泵的选购还要考虑被抽气体成分，气体中是否含有可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。
选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。
第七、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
第八、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
最后，真空泵的价格、运转及维修费用，以及是否具有完善的售后服务也应该是一项重要的注意事项。
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