ANT130R单轴旋转直驱纳米定位平台
ANT130R 直驱旋转级提供的就位稳定性和低于 0.01 弧秒的增量运动性能，并提供两种精度等级。
设计特点
0.01弧秒分辨率
0.005弧秒就位稳定性
提供有限和无限旋转
出色的误差运动规格
多轴配置
高动态性能
多轴功能
ANT130R 系列旨在与 Aerotech 的 ANT 线性载物台产品兼容并轻松集成。这些载物台共同为几乎任何纳米制造或检测应用提供了精度、稳定性和小尺寸性能。
动态性能
除了高精度水平外，这些系统还提供高动态性能和吞吐量，是需要速度和精度的过程的理想选择。
耐久性
ANT130R 载物台系列设计用于在 24/7 全天候制造环境中运行。与其他旋转设备不同，ANT130R 无需定期维护，可确保多年的运行。
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