ABRS 空气轴承直驱旋转台


我们的ABRS系列旋转式空气轴承载物台在极低的外形封装中提供的角度定位、速度稳定性和误差运动性能。ABRS旨在满足晶圆检测、高精度计量、X射线衍射系统、光学检测和制造以及MEMS/纳米技术器件制造的严格要求。

设计特点
直驱、无槽、无刷伺服电机
零齿槽电机，具有出色的速度稳定性
出色的误差运动和摆动性能
直接耦合、高精度旋转编码器
薄型平面设计
无机械接触
紧凑型封装
ABRS 系列直驱旋转载物台的设计经过优化，可限度地降低载物台高度。载物台的低剖面降低了系统的有效工作高度，限度地减少了“堆叠"相关错误。除了较低的总高度外，ABRS 系列还提供透明孔径，可用于产品馈通、激光束传输、电缆间隙或特定应用要求。

的机械设计
ABRS设计具有大的空气承载表面，具有高刚度和负载能力，不仅产生出色的轴向和径向误差运动，而且还产生出色的倾斜误差运动。由此产生的面误差运动明显优于其他旋转式空气轴承工作台和主轴，极大地有利于需要出色平面性能的应用。

无刷直驱
为了限度地提高定位性能，ABRS系列采用了Aerotech的S系列无槽无刷电机。该电机采用*的磁路设计，以最小的热量产生高扭矩输出。无槽设计本质上是零齿槽和无扭矩纹波的。这使得ABRS载物台非常适合需要在低速或高速下具有平滑扫描速度的应用。

精确定位
光学编码器是 ABRS 的标准配置。当与Aerotech的反馈倍增器和控制相结合时，可以实现
定制设计
ABRS的定制版本可用于速率表和惯性制导试验台应用。

1500万像素：

2000万像素：

2500万像素：

3000万像素：