1、工作条件

　　（1） 环境温度： 0 - 40℃；

　　（2） 相对湿度： 20-50%；

　　（3）适用电源规格：380V ( AC )，50Hz；

　　2、技术参数

　　pecvd等离子体增强化学气相沉积设备主要由真空室、反应源、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等部分组成；

　　技术指标：

　　（1）极限真空：5X10-5Pa

　　（2）真空室尺寸 直径400mm高350mm前开门结构 漏率8*10-8Pa/l/s。

　　（3）★射频电源

　　输出频率： 13.56MHz(±0.1%)；允许输出功率：600W。

　　负载匹配调谐方式： 自动跟踪调谐;

　　调谐电容显示方式： 主机数字显示电容位置;

　　控制精度： 0.5% （恒功率控制）。

　　（4）真空计 复合真空计(1高1低)测量范围 大气-1*10-5Pa。

　　（5）系统操作，能控制旋转基片加热台的温度、样品台的旋转、样品挡板的开

　　启；分子泵、机械泵及电磁阀门的开启；加热烘烤及照明。

　　（6）相序保护系统 380V相序保护器(相序.缺相保护)。

　　（7）Pecvd反应源 方式;喷淋式 尺寸;6英寸。

　　（8）样品台；室温-800度 输入220V 输出0-36V。

　　（9）4路质量流量计 准确度1% , 线性±1% ,工作压差0.1-0.5MPa。

　　（10）★陶瓷薄膜电容变送器(压力薄膜规)压力范围0-100kPa。

　　（11）机械泵 抽速不小于8L/s极限压力小于3Pa；

　　（12）★分子泵 品牌 抽速600L/s 安装接口CF150转速24000转/min

　　极限压力6*10-7 。

　　（13）★罗茨泵 抽速30L/s 极限压力0.06Pa 电机功率0.75KW。

　　（14）旁抽阀 采用角阀+碟阀。

　　（15）插板阀CF150金属密封。

　　（16）水冷循环机 制冷量大于1500W。