1、工作条件
(1) 环境温度: 0 - 40℃;
(2) 相对湿度: 20-50%;
(3)适用电源规格:380V ( AC ),50Hz;
2、技术参数
pecvd等离子体增强化学气相沉积设备主要由真空室、反应源、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等部分组成;
技术指标:
(1)极限真空:5X10-5Pa
(2)真空室尺寸 直径400mm高350mm前开门结构 漏率8*10-8Pa/l/s。
(3)★射频电源
输出频率: 13.56MHz(±0.1%);允许输出功率:600W。
负载匹配调谐方式: 自动跟踪调谐;
调谐电容显示方式: 主机数字显示电容位置;
控制精度: 0.5% (恒功率控制)。
(4)真空计 复合真空计(1高1低)测量范围 大气-1*10-5Pa。
(5)系统操作,能控制旋转基片加热台的温度、样品台的旋转、样品挡板的开
启;分子泵、机械泵及电磁阀门的开启;加热烘烤及照明。
(6)相序保护系统 380V相序保护器(相序.缺相保护)。
(7)Pecvd反应源 方式;喷淋式 尺寸;6英寸。
(8)样品台;室温-800度 输入220V 输出0-36V。
(9)4路质量流量计 准确度1% , 线性±1% ,工作压差0.1-0.5MPa。
(10)★陶瓷薄膜电容变送器(压力薄膜规)压力范围0-100kPa。
(11)机械泵 抽速不小于8L/s极限压力小于3Pa;
(12)★分子泵 品牌 抽速600L/s 安装接口CF150转速24000转/min
极限压力6*10-7 。
(13)★罗茨泵 抽速30L/s 极限压力0.06Pa 电机功率0.75KW。
(14)旁抽阀 采用角阀+碟阀。
(15)插板阀CF150金属密封。
(16)水冷循环机 制冷量大于1500W。
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