合肥科晶 EQ-TM106膜厚监测仪

产品概述：

EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理，结合的频率测量技术，进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中，对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。根据实时速率可以输出PWM模拟量，作为膜厚传感器使用，与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制。

合肥科晶 EQ-TM106膜厚监测仪

• 主要特点：
  本机可与计算机连接。
• 显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点，可直观显示所测的膜厚、速率、频率、PWM
• 控制输出的百分比等工作状态。
• 通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置，并可将所测相关数据写入Excel文件。
• 具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。

EQ-TM106-1监测组件：

• 电源：DC5V（±10%），大电流400mA
• 频率分辨率：±0.03Hz
• 膜厚分辨率：0.0136Å（铝）
• 膜厚准确度：±0.5%，取决于过程条件，特别是传感器的位置，材料应力，温度和密度
• 测量速度：100ms-1s/次，可设置
• 测量范围：500000Å（铝）
• 标准传感器晶体：6MHz
• 计算机接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置，数据位：8，停止位：1，校验：无）
• 模拟输出：8比特分辨率，PWM脉宽调制输出（集电极开路或内部5V输出）
• 工作环境：温度0-50℃，湿度5%-85%RH，不得有冷凝水珠
• 外形尺寸：90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2显示仪：

• 输入电源：AC 220V±10%
• 输出电源：DC 5V 3A
• 显示器：12×2数码管与LED
• 通讯端口：RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置，数据位：8位，停止位：1位 　，奇偶校验：无）
• 外形尺寸：182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3探头：

• 适用晶片频率：6MHz
• 适用晶片尺寸：Φ14mm
• 安装法兰：CF35
• 冷却水管：Φ3mm，长度300mm、500mm、1000mm
• 冷却水压：<0.3MPa
• 气动挡板路管：Φ3mm

压缩空气压力：烘烤温度：通水状态<200℃，不通水状态法兰<100℃

电气接口：BCN插座

标准配件：1EQ-TM106-1监测组件1个2EQ-TM106-2显示仪1台3EQ-TM106-3探头1个