XXY精密对位平台
台面尺寸 : 100、160、190、200、250 (mm)
基座尺寸 : 120、170、210、350 (mm)
机械作动原理-传动-标准型、轻量型、重载型
★ 超薄型、轻量化平台-采用Mini stage Xyθ模块化结构,实现无中座的薄且轻的机构
★ 透过特殊交叉滚柱轴承施加预压,达高刚性、高精度表现
★ 中空结构设计,可作为光学式检查装置或导通测试器使用
★ 在各运动轨道加入润滑系统，提高对位平台使用的寿命及精度
★ 材料皆经超深冷处理,有效预防变型,大幅提升使用寿命,质量及效能
★ 实行三次元全检,保证滑台出厂精度与质量
| 型号 | 工作台面尺寸 (mm) | 基座尺寸 (mm) | 行程 (mm) | 水平负载能力 (kgf) |
 GAS00-100HC | 100x100 | 120x120 | ±2x±2 | 5 |
| GAS00-160CC | 160x160 | 170x170 | ±3x±3 | 20 |
| GAS00-160HC | 160x160 | 170x170 | ±3x±3 | 30 |
| GAS00-160LC | 160x160 | 170x170 | ±3x±3 | 30 |
| GAS00-160HAC | 160x160 | 170x170 | ±3x±3 | 50 |
| GAS00-190HC | 190x190 | 210x210 | ±4x±4 | 65 |
| GAS00-200CC | 200x200 | 350x350 | ±8x±8 | 110 |
| GAS00-250HC | 200x200 | 350x350 | ±8x±8 | 120 |
| GAS00-200HC | 200x200 | 350x350 | ±8x±8 | 130 |
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