纳米压印光刻（NIL）

EVG是纳米压印光刻（NIL）设备和集成工艺的市场供应商。EVG从15年前的研究中并掌握了NIL，并实现了从2英寸化合物半导体晶圆到300 mm晶圆甚至大面积面板的各种尺寸基板的批量生产。NIL是产生纳米尺度分辨率图案的有前途且成本效益的工艺，可用于生物MEMS，微流体，电子学以及近各种衍射光学元件的各种商业应用。

UV-NIL /SmartNIL®系统

EV Group为基于紫外线的纳米压印光刻（UV-NIL）提供产品线，包括不同的单步压印系统，大面积压印机以及用于高效母版制作的分步重复系统。

热压花系统

EVGroup的一系列热压花系统基于该公司市场的晶圆键合技术。热压印是一种具有很高复制精度的经济高效且灵活的制造技术。