Centrotherm 快速热工艺设备-RTP 150

一、产品简介

德国Centrotherm公司是国际主流的半导体设备供应商，尤其在高温设备领域。Centrotherm RTP 150是一款快速热工艺设备，主要用于满足研发和小规模量产所需的多种工艺要求。

RTP 150型快速热反应设备，采用紧凑型的真空腔室设计满足多种工艺需要，是一款可用于生产和研发用的单晶圆工艺设备。

RTP 150型设备包括一个带集成压力学习控制压力范围在1mbar至50mbar的真空腔室。采用灯管加热系统提供了可调节的加热均匀性控制，采用了CENTROTHERM公司技术的温度控制系统。

RTP系统可用于6寸晶圆和5寸石墨基板的加热。可在15分钟内更换基板的尺寸和类型。

设备用于、小占地面积、高工艺灵活性的工艺场合。

设备特点：

压力可控的真空或大气环境下工作

高灵活性：6寸硅片或其他材料

温度范围：20℃~1150℃

不加热的工艺温度可达 750℃

升温速率可达150k/s（即150℃/秒）

每个加热灯管独立控制，的温度均匀性

±℃温度一致性

长寿命加热灯管，低维护成本

典型应用：

金属接触退火

掺杂物活化

源极/漏极退火

干氧化

薄晶圆退火

设备参数：

应用： 生产或研发

基板材料：硅片、GaAs、石墨、碳化硅、氮化镓、蓝宝石

晶圆尺寸：6寸

加热系统：24组加热灯，PWM控制

冷却水： 20 L/分钟

排 风： 250 m3/小时

可选件：

用于温度曲线调整的温度测量系统

用于全自动操作的双机械手臂