这款超薄电动位移台是一种电动控制剖面位移平台,采用剖面设计,厚度小,主体由不锈钢制成,超薄电动位移台极大地降低位移台厚度高度,保证了电动位移台在运行过程中的稳定性.
超薄电动位移台主体由不锈钢制成,优化了平移台尺寸,从位移台底座到顶部台面的高度只有20mm。
超薄电动位移台非常适用于真空环境,我们即可以提供用于初级真空(达10^-3Torr)的真空超薄电动平移台,也可提供用于高真空(最可达10^-6Torr)的高真空超薄电动位移台,具有真空电机,特殊的高真空清洁和包装技术。
超薄电动位移台规格
型号 | 8MT60-200-4247 | 8MT60V-200-VSS42 |
行程范围 | 200 mm | 200 mm |
整步分辨率 | 2.5 μm | 2.5 μm |
丝杠螺距 | 0.5 mm | 0.5 mm |
双向重复精度 | 根据要求提供 | 根据要求提供 |
单向重复精度 | 根据要求提供 | 根据要求提供 |
轴向精度 | 根据要求提供 | 根据要求提供 |
pitch | 根据要求提供 | 根据要求提供 |
yaw | 根据要求提供 | 根据要求提供 |
反冲 | 根据要求提供 | 根据要求提供 |
快速度 | 10 mm/s | 5 mm/s |
水平载重 | 8 kg | 8 kg |
垂直载重 | 3 kg | 3 kg |
移动台尺寸 | 75x60 mm | 75x60 mm |
底座材料 | 不锈钢/铝 | 不锈钢 |
处理 | 不涂层/白色阳极氧化处理 | 不涂层 |
步进电机 | 4247 | VSS42 |
环境压力 | 标准大气压(可按要求提供10^-3Torr) | 10^-6Torr |
直流电机 | 根据要求提供 | 根据要求提供 |
电极连接接口 | DB9(M) | HDB15(M) |
限位开关 | 2 机械 | 2 机械 |
阳极转换开关 | Pushed is closed | Pushed is closed |
测量系统 | 公制 | 公制 |
重量 | 1.9 kg | 1.9 kg |
底板 | 3BP60-A | 3BP60V-A |
XY二维搭建 | 2CP60配件 |
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