纳米压电角位台SGO-93.5采用压电驱动技术实现纳米压电角定位,旋转中心为93.5 mm,负载为5N(500g),尺寸为50x50x17mm^3,胜任任何需要高稳定性和高角度精度的应用。

　　纳米压电角位台SGO-93.5采用高精度交叉滚子轴承,具有的角度精度和运动分辨率,结构紧凑,坚固耐用,非常适合微定位或纳米定位应用。

　　纳米压电角位台SGO-93.5具有良好的拓展和堆叠能力,可以与其它纳米压电位移台搭建成复杂压电定位系统,与其它半径相同的角位台联合可以搭建具有共同旋转中心的欧拉角位台系统。

　　纳米压电角位台SGO-93.5配备控制器,可以与集成定位传感器一起使用,用于高真空和超高真空环境。

　　纳米压电角位台SGO-93.5规格参数

　　行程：±5°步进：0.7–7μrad扫描范围：10.5μrad扫描分辨率：0.01μrad速度：4°/s频率：18.5 kHz阻尼力Mb:20 N cm垂直载荷Fn:5N横向扭矩Mr:1.2 N m尺寸：50 x 50 x 17 mm^3旋转中心：93.5 mm重量：≈140g-S闭环：

　　传感器分辨率：0.03 μrad

　　-L闭环

　　传感器分辨率：0.12 μrad

　　闭环分辨率：1.5urad(H)CU, 0.12urad MCS

　　压电角位台SGO-60.5可选项目钢底座（-ST）延长寿命（-Z）-高真空（10^-6mBar），超高真空UHV/-UHVT（10^-11mBar）纳米压电角位台SGO-93.5应用案例

　　我们采用压电角位台纳米压电角位台SGO-93.5搭建了5D微操纵器,采用SLC-17纳米线性搭建XYZ三位纳米定位台系统,再用2套纳米压电角位台SGO-93.5用于纳米旋转定位，Z轴方向的线性加载了恒力弹簧以胜任持久性大负载。这套5D微操纵器可用于高真空和超高真空环境,广泛用于微纳操作,纳米操纵,SEM定位等应用。