适用于多种晶圆量测应用，
• 如组件特性描述和建模、射频和毫米波、晶圆可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境
• 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境
• 支援飞安低漏电量量测
• 温度量测范围 -60 °C 至 300 °C

TS200-SE Probe System细节优势

MPI TS200-SE手动探针测试系统具有的功能。具有高度可重复性（1µm）的压板提升设计，具有用于安全，接触，分离（300µm）和加载（3mm）的三个离散位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏，同时提供直观的控制，准确的触点定位和安全设置。附加的Probe Hover Control™具有悬停高度（50、100或150 µm），可轻松方便地将探头与Chuck对齐。

MPI ShielDEnvironment™是一个高性能的屏蔽系统，可为超低噪声，低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境。