德国MBE 分子束外延系统OCTOPLUS 500
OCTOPLUS 500 MBE系统的主要特点是的可靠性和普适性。标准的Octoplus 500有11个呈放射状分布的源孔,可以根据需要增选3个源孔。快速抽真空进样室配有水平磁力杆传输系统,可以在不破坏MBE腔室真空的前提下,简便地进行样品传输。
OCTOPLUS 500 MBE系统的的主要参数规格
● ID 550 mm
● 应用于III/V族, II/VI族或其他异质结构材料
● 6英寸晶片,或7x2英寸晶片
● 进样室和缓冲腔室
● 线性样品传输系统
● 标准法兰孔数目(标准11个,可按要求增加3个)
● 束流源,气体源,样品台
● 抽真空系统(离子吸附泵,分子泵,低温泵等)
● 原位表征能力
● 软件/硬件控制系统
● 额外要求可定制
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