德国MBE 分子束外延系统OCTOPLUS 400
系统特点:
● 用于研发的普适性MBE系统
● 应用于III/V族, II/VI族材料外延生长
● 适用于2-4英寸样品
● 8个标准的CF法兰孔(根据要求可以拓展到10个)
● 可以升级和选配实现系统扩展
● 原位生长表征
● 易于使用和方便维护
系统特点:
● 用于研发的普适性MBE系统
● 应用于III/V族, II/VI族材料外延生长
● 适用于2-4英寸样品
● 8个标准的CF法兰孔(根据要求可以拓展到10个)
● 可以升级和选配实现系统扩展
● 原位生长表征
● 易于使用和方便维护
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